Soluções
Semicondutores
Pureza.
Considerada desde a escolha do material.
Compatibilidade.
Avaliada nas condições de uso.
Precisão.
Traduzida em cada especificação.
Aplicações na fabricação de semicondutores
Processos precisos.
Escolhas bem fundamentadas.
Para a fabricação de wafers e componentes de equipamentos, avalie a adequação dos fluoropolímeros considerando as substâncias em contato, as metas de controle de contaminação e as condições reais de operação.
01 ／ Processos por via úmida
Cada produto químico
exige uma avaliação.
Para componentes expostos a produtos químicos de processo, como na corrosão química por via úmida (wet etching), avalie os fluoropolímeros considerando o tipo e a concentração das substâncias, a temperatura e o tempo de contato.
Pontos de avaliação: compatibilidade química e condições operacionais
02 ／ Transferência de produtos químicos
A pureza importa.
Em todo o percurso.
Em sistemas que exigem controle de substâncias extraíveis, lixiviáveis e partículas, considere materiais de alta pureza para avaliação. Verifique a adequação do grau selecionado às condições reais dos componentes em contato com o fluido.
Pontos de avaliação: materiais em contato com o fluido e requisitos de pureza
03 ／ Manuseio de wafers
Cada contato conta.
Inclusive na escolha.
Em ambientes sensíveis à contaminação, avalie o uso de fluoropolímeros em dispositivos de manuseio de wafers. Valide a adequação conforme o tipo de contato, a geometria e os requisitos do componente.
Pontos de avaliação: condições de contato e validação dos componentes
Material em destaque ／ PFA de alta pureza
A pureza começa
com uma escolha.
O PFA de alta pureza Everflon™ é uma opção de material a ser avaliada para sistemas de transferência de produtos químicos na fabricação de semicondutores. Comece pelas informações do grau GC403 e compare-as com as condições de processo, os requisitos dos componentes em contato com o fluido e os critérios de aceitação.
A adequação depende do grau selecionado, do projeto dos componentes, das condições de processamento e dos ensaios de aplicação. A designação “alta pureza” não substitui a qualificação para o processo específico.
Dos requisitos do processo à avaliação do material
Defina as condições.
Oriente a escolha.
Alinhe os requisitos entre as equipes de engenharia de processos, projeto e suprimentos para tornar a seleção de materiais e a discussão técnica mais objetivas.
01 ／ Definir as condições de uso
Comece pelo processo real.
Informe os produtos químicos, as concentrações, a temperatura, a pressão e o tempo de contato. Inclua também os ciclos de limpeza, as dimensões dos componentes e o método de processamento previsto.
02 ／ Estabelecer critérios de aceitação
Dê uma base a cada requisito.
Defina os requisitos de pureza, os limites de contaminação, os métodos de ensaio e a documentação necessária. Em seguida, analise os dados técnicos do grau e as orientações de processamento disponíveis.
03 ／ Validar os componentes acabados
Verifique nas condições de uso.
Planeje ensaios representativos das condições operacionais. Avalie os resultados nos componentes acabados antes de aprovar o material e introduzi-lo na produção, conforme os procedimentos internos.
Perguntas frequentes sobre seleção de materiais
Antes de escolher, entenda.
Quais informações são necessárias para consultar sobre materiais para semicondutores?
Descreva o processo, a função do componente, as substâncias em contato, a temperatura, a pressão, o método de processamento e os critérios de aceitação. Desenhos técnicos ou especificações de materiais já utilizados ajudam a detalhar a avaliação.
O PFA de alta pureza é adequado a todos os processos de fabricação de semicondutores?
A designação “alta pureza” não é suficiente para determinar a adequação. Compare os dados técnicos e as condições de ensaio de cada grau com os requisitos do processo. Depois, valide os componentes acabados nas condições de uso previstas.
O que verificar primeiro ao selecionar materiais para transferência de produtos químicos?
Identifique as substâncias, as concentrações, a temperatura, a pressão e o tempo de contato. Defina então os requisitos para extraíveis, lixiviáveis e partículas. Considere também o projeto e as condições de processamento dos componentes.
Onde encontrar informações sobre o PFA de alta pureza Everflon™?
Consulte as informações do PFA GC403 Everflon™ e compartilhe as condições de processo e as especificações do material para discutir as próximas etapas da avaliação.
O próximo passo começa com o seu processo
Vamos falar do seu processo.
Conte-nos sobre as condições de uso, os requisitos dos componentes e os critérios de qualificação. Juntos, podemos definir os pontos a avaliar na seleção dos fluoropolímeros.
Nenhum
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